快速、超快速玻璃披覆(GPP)系列二极管芯片产业化项目市环评报告 36页

附件一：建设项目环境影响报告表项目名称：快速、超快速玻璃披覆(GPP)系列二极管芯片产业化项目建设单位(盖章)：固镒电子(芜湖)有限公司编制日期：2006年3月国家环境保护总局制36n《建设项目环境影响报告表》编制说明《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1.项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。2.建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。3.行业类别——按国标填写。4.总投资——指项目投资总额。5.主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6.结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7.预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。8.审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。36n评价单位：芜湖市环境保护科学研究所（公章）项目负责人：万绍斌评价人员情况姓名从事专业职称上岗证书号职责万绍斌环评高工B2113005编写张贻焘环评高级工程师B2113007审核36n建设项目基本情况项目名称快速、超快速玻璃钝化披覆(GPP)系列二极管芯片产业化项目建设单位固镒电子(芜湖)有限公司法人代表陈鉴章联系人查平通讯地址安徽省（自治区、直辖市）芜湖市（县）联系电话5772258-8223传真5772298邮政编码241008建设地点芜湖市九华北路68号/芜湖出口加工区立项审批部门芜湖经济技术开发区管委会批准文号开管秘[2003]258号建设性质新建√改扩建技改行业类别及代码电子元件制造业4160占地面积（平方米）23350绿化面积（平方米）8170总投资（万元）6000其中：环保投资（万元）60环保投资占总投资比例1%评价经费（万元）2预期投产日期2007年11月工程内容及规模1．建设工程主要内容主要完成购买土地、建造厂房和办公楼、附属水电气等辅助设施基础建设。购进二极管封装生产线二条，GPP扩散到形成晶粒生产线二条，及辅助设备和检测仪器若干，完成研发中心建设。表1项目工程内容序号建设项目内容项目说明计划实施日期1在出口加工区购买土地使用权35亩(23345平方米)2005年3月2建设生产厂房和办公附房6008平方米2005年3月3变压器1000KVA2005年3月4100mm上水、400mm下水管路、消防建设环形厂区、分步均匀2005年3月5年产700KK二极管封装生产线从晶粒焊接到二极管成品全套生产流程2005年8月6年产50万片GPP扩散芯片生产线从芯片扩散到切割分类晶粒全套生产流程2005年10月7空分制氮设备制氮40m3/h2005年10月8研发中心仪器、仪表及研发中心建设中等规模研发试验测试中心2006年1月9厂房装修，车间工序隔间项目分工序隔间、防火防尘2005年10月10纯净水工程日产190吨工业用纯净水2005年11月11扩散炉3套12管将烧结和扩散炉分开06年2月~06年6月12GPP全套生产线一条按年产70万片产能设计06年2月~06年11月36n13切割机10台从境外进口GPP切割，调试投产06年3月~06年9月14晶粒分类机10台进口全套自动分类机06年3月~06年9月15芯片吹砂机及配套空压机吹砂机进口，空压机国内配套06年3月~06年9月1615立方液氮装置增大氮气供气量，安装送气07年2月~07年5月17开沟、金属化设施改造增加镀槽8台投入使用05年3月~05年8月18硅片分析仪，开沟深度探测仪，测试仪器等购买已从境外进口寻价06年5月~06年9月19二楼GPP生产环境无尘设施全线改造全隔断间，通风、无尘设施，封闭式管理系统06年9月~06年12月20GPP快速晶粒全系列化工艺研发试验重点完成扩散，开沟，烧结，金属化，切割，出晶粒试验过程06年5月~07年5月213000m2综合实验楼实施(企业技术中心楼)从基建图纸设计审批到基建竣工、内部功能设施装修竣工06年5月~07年3月22二个国际发明专利开发中试立项、购新仪器和部分设备、原料准备、研发中心试验、送客户小样06年11月~07年6月23环境保护工业废水、废固化物处理工程按生产规模日产日清2006年10月24申报新产品证书订新产品标准、CMA和SGS检测、GPP快速芯片新产品鉴定会、申报新产品认证06年10月25其他设施辅助配套设施05年6月~06年9月26项目验收召开项目验收会07年10月3．快速GPP晶粒产业化扩大快速GPP晶粒的产业化生产，为二极管封装厂配套提供优质晶粒，满足国内市场快速GPP芯片的需要。芯片生产设备在建工程继续增加4管扩散炉3台(12管)，晶粒切割机10台，晶粒分类机10台，芯片吹砂机及配套空压机系统一套，相关测试仪器仪表工装器具若干，三年后(2008年)以达到产GPP芯片8万片，年产120万片的生产规模。4．项目产品方案初期生产安排从以GPP普通型DGS系列晶粒为主要产品，迅速形成规模。重点研发的是以快速GPP晶粒产品为主流产品，已期改变产品结构，去适应市场发展的需求。36n普通DGS产品方案晶粒型号：DGS晶粒系列向小型化方向发展规格尺寸：25×2537×3742×4248×4850×5060×6070×70整流二极管封装产品：1A系列：1N4001G至1N4007G；2A系列：RL201G至RL207G；快速GPP产品系列方案晶粒型号：FGS、HGS、SGS晶粒系列向大型化方向发展规格尺寸：50×50、60×60、70×70、84×84、95×95、100×100、135×135、180×180、200×200……；整流二极管封装产品；FR101G至FR107G；HER101G至HER107G；SF11G至SF18G；(以及1A至6A以上产品)注：以上产品品种质量和电性指标均要达到国际水平的行业标准。5．本项目生产设施、设备见表3。表3本项目设施、设备组成一览表单位：万元一基础设施名称单位数量造价估算1新厂房环形上下水、消防系统设施项1352变压器(1000KVA)及高低压柜配套设施项1563空调及通风设施项1204废水废气环境保护处理系统项1405真空系统项136纯水处理系统项187环境保护土地改良物(大门、植栽等)四周15815M3液氮设施套1229新技术中心办公设备及室内外装璜项185小计274二生产设备、辅助设施单位数量造价估算1上胶机台13.52双面曝光机台26.23GPP生产线全套1804扩散炉(4管)(进口)台3245晶粒切割机(进口日本DISCO型)台104406晶粒分类机(进口台湾TTK型)台101607无油式空压机HITA100HP1208吹砂机(进口台湾新1860k)台1189石英、铁氟龙工具项4210氮气箱台2611隧道式烧结炉台11212电热加热板台4213电热烤箱台4514精密热风烤箱台22.515超声波洗净机台4636n16研磨机台1417IR炉台21518相关配套设施项112小计818.2三技术中心试验设备、仪器及辅助设施名称单位数量造价估算1高温操作寿命实验机LIFE台1152化学处理台台31.53主测试仪TVR6100台214.54Trr测试仪AMP-MB-A(40A)台417.55量测仪器若干台18.56实验显微投影仪器台147硅片分析仪台138开沟深度测仪台149高温IR实验机台1710焊锡性实验仪器台1311冷热循环实验机台11512顺向热冲击实验机SURGE台12713高温逆向偏压HTRB台1714拉力实验机台11815阻值测试机台16162G高频示波器台111.810厚度规台1217体视高倍显微镜台16122.5D工业显微镜台1818硬度计台10.519张力计台10.720讯号显示器台1621其它具及测试设备项162小计248合计1340.26．公用工程⑴供电企业用电来自出口加工区变电所，月用电量21万kw·h。⑵供水企业用水来自出口加工区自来水管网，本项目用水分生产用水和生活用水。生产用水量每日耗自来水466m3，其中损耗88m3，每天排放378m3。⑶排水36n企业排水经出口加工区下水管网至朱家桥污水处理厂，各类废水均经前处理达标后再进城市污水管网。7．人员班制企业员工总人数500人，年生产日280天，生产班制为3班。8．原辅材料年耗量见表4、5。表4年产1200KK二极管单位材料消耗吨/年站别原物料名称年耗用量焊接焊片0.480引线333.600成型环氧树脂(黑胶)115.200印字红胶带3.525白胶带3.525包装成品内纸盒11.520成品外纸箱13.800UN内纸盒10.125圆纸盘7.296卷盘纸盒6.000合计505.071表5年产120万片芯片单位材料消耗吨/年序号原物料名称年耗用量1光阻剂0.7672定影液1.7143显影液2.2864异丙醇2.4005混酸85.9446硝酸28.8007硫酸81.6008双氧水30.009调和溶剂0.04710玻璃粉0.31211氨水0.51612EF0.30013BOE0.30014氯化金0.12015金钢砂6.422合计241.52836n36n与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题：本项目选址位于芜湖经济技开发区新设出口加工区内，周围1km范围内无环境敏感点，具体位置见区域地理位置图 (附图1)。本项目厂区为新建，原无“三废”污染源。36n建设项目所在地自然环境社会环境简况自然环境简况（地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等）：1．地理位置本建设项目位于芜湖经济技术开发区出口加工区内，西距凤鸣湖约2公里。目前周围三面为空地，仅南向与维达公司为邻，具体位置项目地理位置图(附图1)。芜湖经济技术开发区位于芜湖市北域，西临长江，是1993年4月经国务院批准成立，享有国家级经济技术开发区的政策并实行新型管理体制的经济区域。开发区规划建设总用地55.79km2，其中已建成用地约10km2。二、自然地理特征⑴地质地貌区内大部分地段地质条件较好，四褐山、小马鞍山至龙山一带为洪积粘土——基岩地基区，主要持力层为洪积亚粘土，部分地区基岩良好，宜于建设各类建筑。银湖至凤鸣湖及其以东、以北地区主要持力层为淤泥质亚粘土和淤泥质砂土，其中夹有凸铰体状的粉砂属过湿场地，可塑至流动状态且中等至高压缩性和显著不均匀性，地下水位多在地表1m以下。规划区内湖塘密布，有秀丽的银湖、凤鸣湖湖泊，曲折的河流、农田，有景观优美的龙山、尖山、马鞍山和四褐山，自然资源十分丰富。从现状用地来看，凤鸣湖以东、龙山以北地势较为平坦，开发条件理想，而龙山至四褐山之间地势起伏较大，经适当调整，以便开发利用。⑵气候特征该区地处亚热带，纬度偏南，临江近海，属北热带季风性湿润气候，光照充足，四季分明，雨量充沛，冬冷夏热。年均降水量1240.7mm。年平均气温16.20C，月平均气温最低为元月份1.10C，月平均气温最高为七月份310C。常年无霜210~240天（4~10月份），全年日照2075小时。区域常年主导风向为东风，次主导风向为东北偏东风和东北风，其风频分别为16%、11%和9%；年静风频率较高，约为17%。多年平均风速3.5m/s，年平均相对湿度78%。⑶水文36n长江从市区西侧流过，青弋江、水阳江、漳河大小支流贯穿南陵、繁昌、芜湖三县，黑沙湖、龙窝湖、奎湖散布其间，全市水面面积达478km2，占总面积的14.4%。长江从本市过境，水量丰富，多年平均年径流总量8921亿m3，长江开发区段长13.5km。开发区内最重要的河道是位于东北边界的扁担河，为长江支流，呈SE~NW走向。开发区内主要的湖泊为凤鸣湖(水面积285.3ha)和银湖(水面积58.3ha)，两湖串联，整个湖泊群呈SN走向，纵贯开发区中部，注入扁担河。⑷土壤项目所属区域地貌分区为冲积平原、侵蚀残丘和长江古老阶地三个基本地貌单元，土壤类型复杂多样，自然土壤有黄棕壤土和砂质粘土，适合发展林业，耕作土壤为水稻土和砂壤土，宜于种植水稻、油菜和各种蔬菜。社会环境简况（社会经济结构、教育、文化、文物保护等）：芜湖经济技术开发区位于市区北部，与芜湖长江大桥经济园区相毗邻，用地范围南自齐落山路，北至东梁山、扁担河，西倚长江沿岸，东抵小杨村编组站及其铁路沿线，规划面积55.79km2，其中出口加工区3km2，位于城北偏东区域，现处于刚起步阶段，已入驻企业十几家。芜湖经济技术开发区以出口创汇为导向，科技创新为基础，逐步形成以高新技术产业为龙头的多功能现代化的国家级经济技术开发区。芜湖经济技术开发区自1993年经国务院批准建设以来，充分利用自身优势，大力发展自身经济。开发区工业用地主要可分为三部分，即南片工业区、东片工业区和北片工业区。南片工业区位于开发区南部，大部分为已经建成区，该区以新型材料、电子电器、汽车及其零部件等三大重点产业为主，尚未建设地块仍围绕三个主导产业进行开发建设。东片工业区位于凤鸣湖风景区东侧，为近期拟开发区域，以出口加工、物流集散及生物制药为主，位于九华山路西侧邻凤鸣湖景区布置的生物药业科技园(本项目所在地)，属凤鸣湖景观建筑控制区范围。北片工业区位于龙山、四褐山以北，区内以安排无污染或轻污染的大型工业项目为主，其中一类工业用地临近生活区和公建中心布36n置；二类工业用地布置在城市下风向和侧风向；三类工业原则上禁止入内。2004年是开发区继续保持快速发展的一年，各项主要经济指标得到大幅增长，部分指标取得历史性突破，全年实现生产总值95.8亿元，比上年增长27.1%。1．招商引资：2004年开发区招商引资工作再创佳绩。全年实际利用内资42.8亿元；实际利用外资1.3亿美元；工商注册企业109家；新引进德国巴斯夫、日本东芝、美国联合技术集团开利公司3家世界500强企业；投产开业企业81家，投资总额达36.0亿元。2．工业生产：2004年开发区工业生产保持快速增长。全年实现工业总产值291.4亿元，同比增长27.2%。新建规模以上工业企业运行质量良好，经济效益综合指数达249%，产销率达101.5%，实现利润总额9.0亿元。区内汽车及其零部件、电子电器、新型建材三大支柱产业规模进一步壮大；生物医药、信息软件等新经济产业得到蓬勃发展。3．固定资产投资：2004年开发区完成固定资产投资总额44.5亿元，同比增长18.4%，再创历史新高。全年新开工项目37个，其中亿元以上项目6个，同比增加2个。4．内外贸易：全年实现进出口总额5.2亿美元，其中自营出口额1.9亿美元，同比分别增长75.5%和2.1倍，均创历史最好水平。随着开发区工业经济规模逐渐壮大，对内贸易也十分活跃，突出表现在区内物流企业的迅猛发展，现区内大的物流企业有13家，2004年实现营业收入4亿元。5．社会事业：2004年开发区的社会事业得到新的发展。商业、宾馆和餐饮等服务业日趋兴旺。“西气东输”管网全线贯通，一个大型污水处理厂正在建设中，改造了道路路灯，提高了绿化美化水平，区容区貌焕然一新。2004年开发区劳动就业人数已达4.6万人，当年新增约9000人。6．2005年展望：2005年开发区龙头企业将继续扩大产能，一批大产能项目将陆续投产或达产；基础设施建设将继续加强，总投资21亿元的35个项目有望在上半年新开工建设；有16个1000万美元以上项目正在联系洽谈。2005年将是开发区实现大发展的一年，预计全区生产总值有望达到120亿元，工业产值有望突破370亿元。36n环境质量状况建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题（环境空气、地面水、地下水、声环境、生态环境等）该项目建设地点位于芜湖经济技术开发区内，本报告的环境空气、地表水现状评价利用《芜湖经济技术开发区环境质量现状及分析评价报告》中的监测资料。一、环境空气质量现状监测与评价(1)监测点位分布根据该项目的厂址，选取3个监测点位，分别是1#开发区管委会；2#芜湖师专西；3#开发区北部待建区。(2)监测因子考虑到环境空气现状评价的常规评价因子和本项目所产生的主要污染物，确定SO2、NO2、PM10为监测因子。(3)监测时间及频率各监测因子的监测时间及监测频率按《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ/T2.2-93)规定的方法实施，于2003年10月8-12日进行。(4)分析方法采样和分析方法基本上按国家环保局，国家技术监督局发布的《环境空气质量标准》(GB3095-1996)配套测定方法的要求执行。环境空气监测同步观测风速、风向、气温、气压、云量及天气状况。(5)环境空气质量监测结果a.监测期间的气象条件监测期间的天气以多云为主，风向以东南风为主，风速为0.7~3.9m/s，气温在11~28℃。b.监测结果分析①SO2浓度各监测点SO2监测结果统计见表6，由表6可知，开发区各监测点SO2小时浓度范围在未检出~0.023mg/m3之间，日平均浓度范围在0.009~0.016mg/m3之间，各监测点SO2小时浓度和日平均浓度均达到《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准限值，超标率为零。36n表6SO2监测结果统计监测点样品数(个)检出率(%)小时浓度日平均浓度浓度范围超标率%浓度范围超标率%开发区管委会2090未检出~0.02100.009~0.0160芜湖师专西2090未检出~0.02300.010~0.0150开发区北部待建区2085未检出~0.02000.009~0.0140GB3095-1996二级标准0.500.15②NO2各监测点NO2监测结果统计见表7，由表7可知，开发区各监测点NO2小时浓度范围在未检出~0.040mg/m3之间，日平均浓度范围在0.010~0.022mg/m3之间，各监测点NO2小时浓度和日平均浓度均达到《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准限值，超标率为零。表7NO2监测结果统计监测点样品数(个)检出率(%)小时浓度日平均浓度浓度范围超标率(%)浓度范围超标率(%)开发区管委会201000.010~0.04000.016~0.0220芜湖师专西201000.007~0.03100.014~0.0220开发区北部待建区2095未检出~0.02700.010~0.0190GB3095-1996二级标准0.240.12③PM10各监测点PM10监测结果统计见表8，由表8可知，开发区各监测点PM10日平均浓度范围在0.089~0.148之间，各监测点PM10日平均浓度均达到《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准限值，超标率为零。表8PM10监测结果统计监测点样品数(个)检出率(%)日平均浓度浓度范围超标率(%)开发区管委会51000.096~0.1340芜湖师专西51000.089~0.1480开发区北部待建区51000.093~0.1450GB3095-1996二级标准0.15④其它36n在本评价区域内，无与本项目类似的废气污染源存在。二、地表水环境质量现状监测与评价(1)监测布点根据该项目所处的位置排水将经开发区排放口进入朱家桥污水处理厂，确定长江开发区排水口处为地表水现状质量调查。(2)监测项目水温、pH、CODCr、BOD5、NH3-N、石油类、总磷、Cr6+、Zn、Cu、Pb。(3)监测时段监测定于2003年10月8~10日进行，调查3天，每天取样一次。(4)监测结果依照《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)对该地区的地表水质现状进行评价。表9列出了监测值及监测结果。表9地表水水质监测结果编号监测断面统计指标监测项目PHCODcr石油类BOD5总磷NH3-HCr6+ZnCuPbC-C′开发区污水排放口断面平均值7.84120.0060.80.0280.1040.0020.0250.0080.007超标率0000000000由表9可知，长江芜湖段开发区监测断面所有监测项目浓度值均符合《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中的Ⅱ类标准，优于Ⅲ类水质标准。三、声环境质量现状监测与评价(1)监测点布设根据《声环境影响技术导则》中测量点位布设原则，分别在厂址东界、西界、南界、北界各设一个测点，共4个测点。1#~4#测点分别位于拟建厂址东、南、西、北外1米。(2)监测时间和频次监测时间为2006年2月12日，各噪声测点作昼间和夜间2个时段测定。按城市区域环境噪声测量方法时段划分为：昼间6:00~23:00；夜间23:00~6:00。昼间、夜间测定1次。(3)监测因子按照国家有关要求，主要声环境监测因子为等效连续A声级Leq。(4)监测仪器采用“ModelAWA5610”进行测试，测试前对噪声仪进行校正。36n(5)监测方法环境噪声监测方法根据GBIT14623-96《城市区域环境噪声测量方法》进行。(6)监测结果监测结果列于表10中。表10噪声监测结果单位：dB(A)测量日期测点编号测点位置测量时间Leq标准值结论2006.3.171#厂界东昼间55.165达标夜间46.355达标2#厂界南昼间52.665达标夜间45.855达标3#厂界西昼间50.965达标夜间47.355达标4#厂界北昼间56.665达标夜间47.255达标(7)声环境现状评价从表9的评价结果可以看出：企业建址处各厂界测点昼、夜间均能达到《城市区域环境噪声标准》(GB3096-93)中3类标准，表明该区域声环境状况良好。主要环境保护目标（列出名单及保护级别）：项目所属区域位于芜湖经济技术开发区出口加工区内，属城市规划的工业区，距企业1km范围内无需特别保护的敏感目标。根据本项目污染特征及区域环境质量现状确定本次评价主要环境保护目标：1.评价区域空气环境质量按GB3095-1996中二级标准保护；2.长江芜湖段按GB3838-2002中Ⅲ类水质保护；3.评价区域声环境质量按GB3096-93中3类标准控制。36n评价适用标准环境质量标准1.大气环境：执行《环境空气质量标准》(GB3095-1996)中二级标准。2.地表水环境：执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中Ⅲ类标准。3.声环境：执行《城市区域环境噪声标准》(GB3096-93)中3类标准。污染物排放标准1．废气：执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中新污染源大气污染物排放限值中(二级标准)最高允许排放浓度和无组织排放监控浓度值。2．废水：废水进朱家桥污水厂执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中三级标准；其中氟化物及氨氮执行一级标准。3．噪声：营运期执行《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)中Ⅲ类标准。总量控制指标废水：生产废水控制指标按出厂排污水年排废水10.58万m3计算，COD排放总量控制在52.9t/a以内。36n建设项目工程分析工艺流程简述（图示）：生产流程及排污点分析：芯片生产工艺流程和“三废”排放节点示意图：G3S2S7G4G1、W1铂离子植入吹砂砂光阻覆膜曝光显影硅片扩散晶片清洗晶片投入G1G2S1W1S3S5化学蚀刻玻璃披覆晶粒分类晶粒品检入库切割金属化G1.G2.G3.W1.W3.S5S6G1-酸性气体；G2-碱性气体；G3-有机废气；W1-含氟废水；W2-碱性废水；W3-含氨废水；S1-混酸废液；S2-废光阻剂；S3-硫酸废液；S4-显影废液；S5-异丙醇废液；S6-废玻璃粉；S7-废金刚砂；封装成型焊接镀锡测试包装委外二极管封装生产工艺流程：1．工程污染源分析本次环境影响评价污染分析的原则和依据是建设单提交的设计，主要以物料衡算、类比调查得出的。1.1大气污染源分析：⑴酸性废气：主要来自于扩散区，化学蚀刻区，包含氧废气、硝酸、冰醋酸、柠檬酸、磷酸等所排出之废气；⑵碱性气体：主要来片于化学蚀刻区、金属化产生之含氨废气排放；36n⑶有机废气：有机废气主要来自于光刻区的光阻剂、显影液；蚀刻区、氧化区清洗所用异丙醇有机溶剂废气；⑷化学品运输过程中的极微量泄露：根据类比数据，化学材料在运输过程中，在罐瓶装、管道等接口处可能泄露量为总量的0.05%。本评价考虑的是使用量较大的HF，年使用量按22.75T/a，泄漏量按最坏情况来考虑为总量的0.7%计，可得到氟化氢极微量泄漏约0.028kg/h。1.2水污染分析：本项目水污染主要包括生产废水和生活污水根据本项目的生产工艺和废水水质特征，在生产过程中产生的废水主要可分为含氟废水、酸碱废水和含氨废水。此外，还有纯水站浓缩废水、工艺设备冷却水和冷却塔排水为较清洁废水，作为回收水用，企业给排水见水量平衡图。1.3企业生产过程中产生的固废见表4。固镒电子水量平衡图单位：m3/d不可预见初纯水系统纯水系统酸性废气洗涤塔冲厕食堂生活处理超纯水系统纯水系统工艺设备冷却水空调循环水冷却塔酸碱废水处理含氨废水处理含氟废水冲厕、绿地、道路工艺用水回用水集水箱自来水排放61323回用水312824667111719193789222784684513蒸发损耗284683109899蒸发量14总排放378水平衡图见上图，每天实际使用水量为19185m3/d，其中新鲜水(自来水)量为466m3/d，废水排放量为378m336n/d，循环水量为18719m3/d。36n项目水复用率为：(12+93+18719)/(98+511)=96.4%氟平衡拟建项目氟的投加以混酸(HF:HNO3:CH3COOH:H2SO4=9:9:12:4其中HF比例26.47%)方式进入生产线化学蚀刻工艺，其中HF年投加量为22749.88kg/a。项目氟的产出主要为混酸废液交由原料厂回收综合利用21612.39kg/a，其次为废气、废水、废渣中氟化物流失到环境中，该项目采取了含氟废气洗涤、废水除氟治理措施，因此大部分氟以生石灰(CaO)投药，经混凝沉淀主要以氟化钙(CaF2)方式，混合石膏CaSO4及熟石灰[Ca(OH)2]成为干式污泥处理。未用尽的离子氟均进入区域除害装置，主要采用是碳纤维吸附，处理效率95%，然后进入酸气洗涤塔，洗涤后排入大气。氟平衡见下图，氟平衡计算结果如下：洗涤塔含氟废水氟平衡图2.27排入大气吸附处理装置处理污泥20.47含氟废气无机氟化物22749.88含氟废水总量682.4968.25排入废水委托原料供应商回收综合利用21612.39含氟废水处理污泥614.24碳纤维吸附剂固体废物回收处理432.25单位：kg/a表6固体废弃物产生量类别物理形态年产生量(t/a)主要成份危害性处置方式污泥固态1.2CaF2,CaSO4,Ca(OH)2一般委外焚烧硫酸废液液态81.630%~95%H2SO4刺激和腐蚀综合利用混酸废液液态85.9HF,HNO3,A/A,H2SO4刺激和腐蚀综合利用显影废液液态2.3EBR,二甲苯易燃烧委外回收异丙醇废液液态2.4IPA刺激、低毒、易燃厂内燃烧废芯片固态0.3废五金无委外回收废塑料固态2.3塑料无委外回收废光阻剂固态0.7EKC易挥发燃烧委外回收废金属固态3.8金属无委外回收废玻璃固态0.1玻璃无委外回收可回收包装材料固态13废纸无委外回收生活垃圾固态146生活和办公垃圾一般城市垃圾统一处理合计360.336n1.4噪音污染源本项目噪声源污染状况可分为两个部分：一是生产厂房(制二车间)另一个为动力设施(辅房)产生的噪声源污染。噪音污染主要在动力辅房，空压机、动力帮浦，以及制二车间的回旋振动送料机，都会产生噪音污染。噪音量均控制在80dB以下。36n项目主要污染物产生及预计排放情况内容类型排放源（编号）污染物名称处理前产生浓度及产生量(单位)排放浓度及排放量（单位）大气污染物清洗工序HFHCLNOXNH390mg/m30.9kg/h800mg/m32.08kg/h400mg/m33.5kg/h200mg/m38.0kg/h<9mg/m3<0.1kg/h<100mg/m3<0.26kg/h<240mg/m3<0.77kg/h<20mg/m3<1.6kg/h水污染物显影刻蚀.CMP清洗CODF-酸.碱SS600mg/L300kg/d1.32mg/L0.501kg/dPH<6,PH>9400mg/L200kg/d<500mg/L<250kg/d0.63mg/L<0.24kg/dPH6~9<400mg/L<35kg/d固体废物清洗显影光刻污水处理各种废酸渣显影废液异炳醇废液废光刻胶污泥264.7t/a委外回收噪声 各设备运转噪声为70~80dB(A)，主要有冰水机、动力泵、各类风扇及真空泵等。其他全厂职工总数为500人，年生活饮用水量预计为50m3/d(按人均100L/d计)，其中回用冲厕水未计。排水量按95%算，年排生活污水1.33万m3，污水中COD浓度为400mg/L左右，符合三级排放标准。主要生态影响（不够时可附另页）通过厂区内空闲地的绿化，恢复部分植被，美化环境具一定生态保护和环境风险防范效果。36n环境影响分析施工期环境影响简要分析：项目施工期对周围环境的影响主要有以下几点：1.项目施工过程对交通的影响在工程建设期间由于增加交通量，从而会使局部车流量在一段时间内增加，这种影响随着工程建设结束而消失。2.项目施工过程施工扬尘的影响工程施工期间，挖掘的泥土通常堆物在施工现场，直至管道埋设，短则几星期，长则数月。堆土裸露，车辆来往，使大气中悬浮物含量骤增，使周围环境空气质量下降。建议施工中遇到连续的晴天和刮风情况下，应在弃土表面洒一些水，防止扬尘。3.项目施工过程噪声的影响项目施工期间的噪声主要来源于施工机械和建筑材料运输，车辆马达的轰鸣及喇叭的喧闹声。特别是在夜间，施工噪声将产生较严重环境问题，但由于附近无居民，故影响小。为了减少施工噪声对周围环境的影响，工程应在施工设备和方法中加以考虑，尽量采用低噪声机械，工程建设尽量避开晚上22:00后到次日上午6:00内施工，对必须在夜间施工又可能影响居民环境的工地，应对施工机械采取降噪措施，以保证建址周边良好的声学环境质量。4.项目施工过程生活垃圾的影响工程施工时，施工人员的住宿将安排在工作区域内，这些临时住宿地的排水和生活废弃物，如不妥善处理，则会严重影响周围的环境质量。所以废水应临时挖坑作沉淀厌氧处理后排放，垃圾应集中收集送到城市垃圾处理站一并处理。5.项目施工过程弃土的影响工程施工期间将产生许多弃土，这些弃土在运输、处置过程中都可能对环境产生影响。车辆装载过多导致沿途泥土散落地，车轮占满泥土导致运输公路布满泥土，晴天尘土飞扬影，影响周围大气环境质量。弃土处置地不明确或无规划乱丢乱放，将影响土地利用，破坏自然生态环境。工程建设单位应会同城市有关部门，为本工程的弃土制定处置计划，弃土出路应主要用于筑路和小区建设等。管网工程施工后应及时回填，避免长期堆存。施工中多余土石方，应得到妥善处理，避免产生水土流失。36n营运期环境影响分析：1．废水污染源环境影响企业生产过程中产生的水污染物主要为含氟废水、酸碱废水及含氨等废水。对含氟废水采用碳纤维吸附，处理效率达95%，然后进入酸气洗涤塔，最终废水中含氟浓度<20mg/L；含氨废水亦经前处理(加酸+沉淀)后，纳入酸碱废水处理系统；低浓度酸碱废水经中和沉淀调节PH6~9后再进下水道；少量高浓度酸碱废液作危险固废委外回收。生活污水经化粪池后排至朱家桥污水处理厂。2．废气污染源环境影响废气排放规律为部分间断部分连续，每日排放时间平均为20小时。企业工艺产生的废气主要为各种酸、碱废气、NOx、异炳醇及非甲烷总烃等。各类废气分别在各自工段设置湿式洗涤器净化设施，各类污染物的削减率为85~95%，其排放浓度及排放速率均可达标。其中HCl<100mg/m3，<0.77kg/h；非甲烷总烃<120mg/m3，<0.1kg/h；氟化物<9.0mg/m3，<0.1kg/h。各类工艺废气经>15m排气筒排放，对环境影响小。生产过程中动力能源采用电加热，无废气排放，为清洁能源。3．固体废物环境影响生产过程中产生的固废主要为硫酸、混酸、显影、异炳醇、废芯片、废塑料、废光阻剂、废金属、废玻璃及废水处理后的污泥等。年产生量为268.03t/a，其中大部分为危险固废，全部委托有资质的单位回收或填埋，经安全储存、运输及处置后对环境基本无影响。日常生活垃圾经出口加工区统一收集转运至垃圾焚烧发电厂处置，对环境影响小。4．声环境影响生产设备噪声在70~80dB(A)之间，经厂房阻隔和距衰减后可达标排放。5．污染防治措施达标分析(1)废气污染治理措施本项目生产过程中排放的废气有酸性废气(包括HF气体)、碱性废气分别设置区域性除害装置，湿式洗涤器等气体净化设施，使废气中的污染物做到达标排放。通过以上治理措施污染物削减率在85%~95%。36n(2)废水污染治理措施达标分析本项目生产产生的废水主要有3种：含氟废水、酸碱废水和含氨废水。对氟化物废水采用加石灰石的处置方式，去除废水中F—，最终的CaF2沉淀物作为危险废物送有资质厂家处置。对酸碱废水及含氨废水采用中和处理法治理，排放废水PH为6.5~8.5后进污水处理厂，沉淀物同样送有资质厂家处置。废气废水的处理方法是成熟可靠的，只要严格操作过程，治理后达标是可行的。本项目的污染处理结果见下表。拟建工程废气、废水处理措施一览表单位：t/a项目污染物产生量治理措施削减量排放量废气氟化物0.023碳纤维吸附0.0200.003废水氟化物0.682石灰石处理0.6140.068COD71.04沉淀11.8459.2NH3-N0.45中和0.440.106．环境风险影响本企业在生产过程中存在极小的事故概率，一旦发生对环境危害较大，预防措施为废气、废水各污染物排放口安装在线监测系统，设置卫生防护距离为厂界外50m(执行GB/T3840-91标准)，在其范围内种植乔木、灌木及草坪相结合的密封隔离带，确保周边环境质量。36n建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果内容类型排放源（编号）污染物名称防治措施预期治理效果大气污染物清洗光刻抛光HFHCLH2SO4H3PO4NOXNH3 异丙醇酸碱废气采用湿式洗涤塔处理，特殊气体增加炭纤维洗涤对有机废气采用沸石转轮燃烧法处理处理率>90%达标排放水污染物显影刻蚀.CMP清洗NH4OHF-酸.碱中和加生石灰混凝沉淀中和达标排放固体废物清洗显影光刻污水处理各种废酸.渣显影废液异炳醇废液废光刻胶污泥委外回收(有资质单位)委外回收妥善处置噪声各类运转设备均室内设置，其噪声经厂房围墙阻隔及距离衰减后(15dB(A)以上)，到达厂界可达排放标准。其他生态保护措施及预期效果通过植树种草等绿化措施，增加植被复盖率，具有美化环境的效果，同时也是防范环境风险与安全的有效措施。36n结论与建议结论1．固镒电子公司在芜湖经济技术开发区出口加工区内建设快速、超速玻璃披覆(GPP)系列二极管芯片生产线，符合国家新型电子产业政策，符合芜湖市环境功能区规划和生产布局政策，其选址合理。同时符合出口加工区对进区企业的要求。2．根据开发区环境监测近期数据表明，评价区域空气质量符合GB3095-1996中的二级标准；地表水长江相关断面水质符合GB3838-2002中Ⅲ类标准；声环境符合GB3096-93中3类标准。3．本项目生产过程中排放的废气有酸性废气(包括特殊性气体)、碱性废气和有机废气，分别在车间排放前安置湿式洗涤器等气体净化设施，使废气中的污染物排放量极大降低。污染物削减率在85%~95%，排气筒高度>15m，最终污染物外排可达二级标准。4．本项目生产产生的废水主要有3种：含氟废水、酸碱废水和含氨废水。上述废水在经前处理后进入中和处理系统是合理的，最终可达三级排放标准再进朱家桥污水处理站，对地表水环境的影响小。本项目产生的固废委托有资质的南京台硝化工有限公司，回收处理，可实行安全处置。5．拟建项目生产技术路线和生产工艺是在国际上较为先进的，技术水平上符合电子元件加工制作清洁生产的要求。本项目努力提高资源和能源的综合利用能力，水资源综合利用取得一定的效果，部分废水回用，废物部分回收资源化、减量化，“三废”治理措施合理可行。因此，基本上符合清洁生产的要求。6．设备运转噪声相对较小，再经厂房隔声和距离衰减后可达标排放。7．生活污水经化粪池后进下水管网至朱家桥污水处理厂治理符合地方环保主管部门要求。8．设备运转噪声在各向厂界可达标排放。9．本报告认为，企业在认真落实各项环境保护工作并实行“三同时”制度后，该项目可行的。36n二、建议1．固镒电子在投产营运期，“三废”污染物经治理后仍有少量会进入环境，因此企业须设置环保管理机构和操作岗位，做到有专职人员负责污染治理和监测工作，各废气、废水排放口均安置污染物在线监测系统，并有连续记录存档，以备环保主管部门查核。2．生产固废中含各种化学危险物，须有资质的企业回收处置，不得随意丢弃或自主焚烧。本项目使用的化学品具腐蚀性、易燃物或有毒品，虽风险事故发生几率极小，但其一旦发生事故，其造成的危害极大。因此应合理确定库存量，同时化工仓库采用完善的防意外事故制度，同时设立消防自动报警系统。3．本项目的卫生防护距离按GB/T3840-91中规定，确定为厂界外50m，并在此50m范围内密集种植高大乔木与低矮灌木、草地相结合的封闭绿化隔离带。4．生产过程中尽量降低物耗、能耗及水耗，实行清洁生产制度。尽量避免使用有机溶剂氟氯烃及高毒化学品。含重金属的废水排入污水厂前，重金属浓度必须符合规定标准。5．本项目职工人数较多，生活垃圾应集中后送出口加工区指定地点统一处置，生活污水经化粪池后进入城市下水管网，至污水处理厂处理。36n预审意见：公章经办人：年月日下一级环境保护行政主管部门审查意见：公章经办人：年月日36n审批意见：公章经办人：年月日36n注释一、本报告表应附以下附件、附图：附件1立项批准文件附件2其他与环评有关的行政管理文件附图1项目地理位置图（应反映行政区划、水系、标明纳污口位置和地形地貌等）附图2项目平面布置图二、如果本报告表不能说明项目产生的污染及对环境造成的影响，应进行专项评价。根据建设项目的特点和当地环境特征，应选下列1-2项进行专项评价。1.大气环境影响专项评价2.水环境影响专项评价（包括地表水和地下水）3.生态影响专项评价4.声影响专项评价5.土壤影响专项评价6.固体废弃物影响专项评价以上专项评价未包括的可另列专项，专项评价按照《环境影响评价技术导则》中的要求进行。36n建设项目环境保护审批登记表填表单位（盖章）：芜湖市环境保护科学研究所填表人（签字）：项目经办人（签字）：建设项目项目名称快速、超快速玻璃钝化披覆(GPP)系列二极管芯片产业化项目建设地点芜湖出口加工区建设内容及规模年产芯片120万片建设性质√新建□改扩建□技术改造行业类别电子元件制造业4160环境保护管理类别□编制报告书√编制报告表□填报登记表总投资（万元）6000环保投资（万元）60所占比例1%立项部门芜湖经济技术开发区管委会批准文号开管秘[2003]258号立项时间2003.9.26报告书审批部门批准文号批准时间建设单位单位名称固镒电子(芜湖)有限公司联系电话0555-6738896评价单位单位名称芜湖市环境保护科学研究所联系电话0553-5737795通信地址芜湖出口加工区邮政编码241001通信地址芜湖市赭山西路130号邮政编码241001法人代表陈鉴章联系人查平证书编号国环评证乙字第2113号评价经费2.0万元建设项目所处区域环境现状环境质量等级环境空气：GB3095-1996二级地表水：GB3838-2002Ⅲ类地下水：环境噪声：GB3096-933类海水：土壤：其它：环境敏感特征□饮用水水源保护区□自然保护区□风景名胜区□森林公园□基本农田保护区□生态功能保护区□水土流失重点防治区□生态敏感与脆弱区□人口密集区□重点文物保护单位√三河、三湖、两控区□三峡库区污染物排放达标与总量控(工业建设项目详填)污染物现有工程（已建+在建）本工程（拟建）总体工程（已建+在建+拟建）区域平衡替代削减量实际排放浓度允许排放浓度实际排放总量核定排放总量预测排放浓度允许排放浓度产生量自身削减量预测排放总量核定排放总量“以新带老”削减量预测排放总量核定排放总量排放增减量废水10.5810.58化学需氧量*<500<50071.0418.1452.9BOD5SS<400<4005645.29.8废气二氧化硫*烟尘*工业粉尘*氮氧化物工业固体废物*与项目有关的其它特征污染物生活垃圾0.01460.0146HF(废水中)<10<100.6820.6140.068HF(气态)<9.0<9.00.0570.05620.0008注：1。*为“十五”期间国家实行排放总量控制的污染物2．排放增减量：（+）表示增加，（-）表示减少。3．计量单位：废水排放量——万吨/年，废气排放量——万标立方米/年，工业固体废物排放量——万吨/年，水污染物排放浓度——毫克/升，大气污染物排放浓度——毫克/立方米，水污染物排放量——吨/年，大气污染物排放量——吨/年。36n关于固镒电子(芜湖)有限公司环评执行标准请示芜湖市环保局：现芜湖市环境保护科研所对固镒电子(芜湖)有限公司“快速、超快速波动披覆(GPP)系列二极管芯片产业化项目”进行环境影响评价(表)，为此报告执行环境质量标准和污染物排放标准，请批示。环境质量标准：1．大气环境执行《环境空气质量标准》(GB3095-1996)中二级标准。2．地表水环境执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中Ⅲ类标准。3．声环境执行《城市区域环境噪声标准》(GB3096-93)中3类标准。污染物排放标准：1．废气执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中新污染源大气污染物排放限值中二级标准中相应的最高允许排放浓度和排放速率。2．废水进入朱家桥污水厂执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中三级标准。3．噪声执行《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)中Ⅲ类标准；施工期执行《建筑施工场界噪声限值》(GB12523-90)标准。4．固废执行《危险危物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)中的规定。芜湖市环境保护科研所2006.3.1836n勘误页P4、5、6、9、17、20、24、26、27登记表36