废水处理装置及废水处理方法 15页

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101132990B*(12)发明专利(10)授权公告号CN101132990B(45)授权公告日2012.07.18(21)申请号200680006924.6(56)对比文件JP2000-271577A,2000.10.03,说明书(22)申请日2006.01.31[0042]、[0053]和[0056]-[0057]部分，权利要求(30)优先权数据1-15，附图9、14、16.059275/20052005.03.03JPJP2004-121962A,2004.04.22,说明书(85)PCT申请进入国家阶段日[0025]、[0040]和[0046]部分，权利要求1-34，附2007.09.03图1.JP7-195091A,1995.08.01,全文.(86)PCT申请的申请数据JP2003-094086A,2003.04.02,全文.PCT/JP2006/3015532006.01.31JP2002-143885A,2002.05.21,说明书(87)PCT申请的公布数据[0008]、[0057]部分，权利要求1-12.WO2006/092920JA2006.09.08MasatoKUKIZAKIetal..TakoshitsuGlass(73)专利权人夏普株式会社MakuniyoruTanbunsanjoNano-bubbleno地址日本大阪府SeiseitoKihokaiSeigyo.KagakuKogakuRonbunshu305.2004,30(5),654-659.(72)发明人山嵜和幸宇田啓一郎中條数美OsamuTAKAGIetal..Kaimenkasseizai(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公oFukumuSuichuoJoshosuruKiho司31100noKyodo.TransactionsoftheJapan代理人沙永生SocietyofMechanicalEngineers69(51)Int.Cl.686.2003,69(686),16-23.C02F1/00(2006.01)审查员孙振军B01F1/00(2006.01)B01F3/04(2006.01)C02F3/20(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图5页权利要求书1页说明书8页附图5页(54)发明名称废水处理装置及废水处理方法(57)摘要该废水处理装置通过构成表面活性剂添加部的表面活性剂泵8、表面活性剂罐9向微纳米泡反应槽3中添加表面活性剂。这样，微纳米泡反应槽3中，微纳米泡发生机4可以将含有表面活性剂的被处理水作为原水稳定高效地产生微纳米泡。因此，可以经微纳米泡对导入至微纳米泡反应槽中的废水进行高效的前处理，实现废水处理效率的提高，除此之外，还可以减少该前处理的后续工序CN1013290B的废水处理装置14的处理负荷，实现废水处理装置14的规模缩小化。nCN101132990B权利要求书1/1页1.废水处理方法，其特征在于，具有向设有微纳米泡发生机的微纳米泡反应槽中导入废水的工序，以及向上述微纳米泡反应槽添加表面活性剂的工序，其中，由与上述微纳米泡发生机连接的空气吸入管，将空气吸入至上述微纳米泡发生机，由表面活性剂泵将表面活性剂添加至上述微纳米泡反应槽，由液面计检测上述微纳米泡反应槽的液面，根据该液面计输出的液面检测信号，来控制调节上述空气吸入管的空气流量的电磁阀的开关程度或者上述表面活性剂泵的吐出量中的至少一方或两方。2.如权利要求1所述的废水处理方法，其特征在于，当导入至上述微纳米泡反应槽的废水不含表面活性剂时，向上述微纳米泡反应槽添加表面活性剂，另一方面，当导入至上述微纳米泡反应槽的废水含有表面活性剂时，不向上述微纳米泡反应槽添加表面活性剂。3.如权利要求1所述的废水处理方法，其特征在于，当导入至上述微纳米泡反应槽的废水仅含有不满规定量的表面活性剂时，向上述微纳米泡反应槽中添加表面活性剂，另一方面，当导入至上述微纳米泡反应槽的废水含有上述规定量以上的上述表面活性剂时，不向上述微纳米泡反应槽添加表面活性剂。4.如权利要求1所述的废水处理方法，其特征在于，表面活性剂为阴离子表面活性剂、阳离子表面活性剂以及非离子表面活性剂的至少1种。5.如权利要求1所述的废水处理方法，其特征在于，上述表面活性剂为经过上述微纳米泡反应槽的后续工序的废水处理部的废水处理被分解的表面活性剂。6.如权利要求1所述的废水处理方法，其特征在于，具有将含有微纳米泡的废水从上述微纳米泡反应槽导入至进行后续工序的废水处理的后续工序废水处理部的工序，上述后续工序废水处理部进行生物处理、化学处理、物理处理的至少1种处理。7.如权利要求1所述的废水处理方法，其特征在于，具有使上述微纳米泡反应槽中的处理水中的溶解氧浓度上升、维持的工序。8.如权利要求7所述的废水处理方法，其特征在于，上述后续工序废水处理部进行生物处理、化学处理、物理处理的至少2种以上的处理。9.废水处理装置，其特征在于，设有被导入废水且具有微纳米泡发生机的微纳米泡反应槽，以及向上述微纳米泡反应槽添加表面活性剂的表面活性剂添加部，其中上述表面活性剂添加部具有表面活性剂泵，所述废水处理装置设有与上述微纳米泡发生机连接的空气吸入管、调节上述空气吸入管的空气流量的电磁阀、检测上述微纳米泡反应槽的液面输出液面检测信号的液面计、以及根据从上述液面计输出的液面检测信号来控制上述电磁阀的开关程度和上述表面活性剂泵的吐出量的控制部。2nCN101132990B说明书1/8页废水处理装置及废水处理方法技术领域[0001]本发明涉及废水处理装置及废水处理方法。本发明涉及例如使微纳米泡(micronanobubble)高效产生，对废水进行前处理，减少废水处理装置的负荷，可实现废水处理装置整体小型化以及提高处理水质的废水处理装置和废水处理方法。背景技术[0002]在废水处理方法和废水处理装置中，作为一般的前处理方法和前处理装置，以往就存在一些方法和装置。作为一个示例，作为生物处理装置的前处理装置，有进行沉淀、过滤、pH调整、臭氧氧化、吸附等的前处理装置。该前处理处理装置的目的是，减轻后续工序中的废水处理装置生物学、或者化学、或者物理学的负担，可以藉此希望达到该废水处理装置的规模的缩小、来自该废水处理装置的处理水的处理品质的提高。[0003]在专利文献1(日本专利特开2004-121962号公报)，记载了作为以往技术的利用纳米泡的方法和装置。该技术利用了纳米泡所具有的减少浮力、增加表面积、增大气泡表面活性、生成局部高压场以及实现静电极化而产生的表面活性作用和杀菌作用等特性。更具体地讲，其中公开了通过这些作用的相互协同，发挥对污浊成分的吸附功能、物体表面的高速清洗功能、杀菌功能，藉此可高效且低环境负荷地清洗各种物体，可进行污水净化的技术。[0004]另外，在专利文献2(日本专利特开2003-334548号公报)，记载了作为以往技术的纳米气泡的生成方法。该技术在液体中具有以下工序：(1)分解气化一部分液体的工序，或者(2)在液体中施加超声波的工序，或者(3)分解气化一部分液体的工序以及在液体中施加超声波的工序。[0005]但是，微纳米泡的作用和功能正在调查研究之中，有效产生微纳米泡的方法和装置也正在研究中。一般，微米泡定义为直径在50微米以下的微细气泡，纳米泡定义为直径不到1微米的微细气泡。[0006]但是，要同时产生微米泡和纳米泡两者仍是技术课题。如果在水中释放微米泡则变成象白色牛奶一般，即使停止产生微米泡在数分钟内仍会呈白浊。但是，一旦产生的条件不正确则不会出现白浊，当然不会出现纳米泡，有时出现连微米泡也不产生的情况。[0007]在进行废水处理时，使水中稳定的产生微纳米泡对发挥微纳米泡所具有的功能是非常重要的。[0008]发明的揭示[0009]因此，本发明的课题是提供可以使微纳米泡稳定产生，实现提高废水处理效率的废水处理装置和废水处理方法。[0010]为了解决上述课题，本发明的废水处理方法的特征在于，具有向设有微纳米泡发生机的微纳米泡反应槽中导入废水的工序，向上述微纳米泡反应槽中添加表面活性剂的工序。[0011]按照本发明的废水处理方法，通过向微纳米泡反应槽中添加表面活性剂，可以在3nCN101132990B说明书2/8页微纳米泡反应槽中微纳米泡发生机以含有表面活性剂的被处理水作为原水稳定高效地产生微纳米泡。因此，导入至微纳米泡反应槽的废水可以被微纳米泡进行高效的前处理。这样，可以减轻在该前处理的后续工序的废水处理部处的处理负荷，可以实现后续工序的废水处理部的规模的缩小化。[0012]另外，一个实施方式的废水处理装置具有被导入废水且具有微纳米泡发生机的微纳米泡反应槽，以及向上述微纳米泡反应槽中添加表面活性剂的表面活性剂添加部。[0013]按照该实施方式的废水处理装置，通过经表面活性剂添加部将表面活性剂添加至微纳米反应槽，可以在微纳米泡反应槽中稳定高效的产生微纳米泡。因此，被导入至微纳米泡反应槽中的废水可以被微纳米泡进行高效的前处理，可实现废水处理效率的提高，除此之外还可降低该前处理的后续工序的废水处理部的处理负荷，实现废水处理部的规模的缩小化。[0014]另外，一实施方式的废水处理方法是由与上述微纳米泡发生机连接的空气吸入管，将空气吸入至上述微纳米泡发生机，[0015]由表面活性剂泵将表面活性剂添加至上述微纳米泡反应槽，[0016]由液面计检测上述微纳米泡反应槽的液面，根据该液面计输出的液面检测信号，来控制调节上述空气吸入管的空气流量的电磁阀的开关程度或者上述表面活性剂泵的吐出量中的至少一方。[0017]按照该实施方式的废水处理方法，当微纳米泡反应槽中从空气吸入管吸入至微纳米泡发生机的空气的量不合适而过多时，在微纳米泡反应槽中产生较微纳米泡更大的泡。此时，由于在微纳米泡反应槽中泡面上升，因此液面计感测泡面，根据从液面计输出的液面检测信号，旋小电磁阀，使从空气吸入管吸入至微纳米泡发生机的空气的量适当，使微纳米泡稳定产生。另外，从表面活性剂泵添加至微纳米泡反应槽的表面活性剂较适当量少时，在微纳米泡反应槽中产生较微纳米泡更大的泡。此时，由于微纳米泡反应槽中泡面上升，因此液面计感测泡面，根据从液面计输出的液面检测信号，通过使表面活性剂泵的吐出量增加，可以使微纳米泡稳定地生成。藉此，通过该实施方式，可以使微纳米泡稳定产生，可实现废水处理效率的提高。[0018]另外，在一实施方式的废水处理装置中，上述表面活性剂添加部具有表面活性剂泵，[0019]所述废水处理装置设有与微纳米泡发生机连接的空气吸入管、[0020]调节上述空气吸入管的空气流量的电磁阀、[0021]检测上述微纳米泡反应槽的液面，输出液面检测信号的液面计、以及[0022]根据从上述液面计输出的液面检测信号来控制上述电磁阀的开关程度或上述表面活性剂泵的吐出量中的至少一方或两方的控制部。[0023]按照该实施方式的废水处理装置，利用上述液面计检测上述微纳米泡反应槽的泡面从而输出的液面检测信号，可以检测出在微纳米泡反应槽中是否稳定地生成微纳米泡。控制部根据上述液面计输出的液面检测信号，控制上述电磁阀的开关程度或上述表面活性剂泵的吐出量中的至少一方或两方。这样可以控制向微纳米泡发生机供给的空气量和向微纳米泡反应槽供给的表面活性剂的量，以稳定产生微纳米泡。因此，通过该实施方式，可以稳定地产生微纳米泡，实现废水处理效率的提高。另外，当微纳米泡适当地产生时，通过实4nCN101132990B说明书3/8页验明确泡面没有在微纳米泡反应槽中上升。[0024]另外，一实施方式的废水处理方法中，当导入至上述微纳米泡反应槽的废水不含表面活性剂时，向上述微纳米泡反应槽中添加表面活性剂。当导入至上述微纳米泡反应槽的废水含有表面活性剂时，不向微纳米泡反应槽中添加表面活性剂。[0025]按照该实施方式的废水处理方法，在上述废水如例如为半导体工厂的显影废液般含有充足的表面活性剂时，不向微纳米泡反应槽中添加表面活性剂，因此可以减少运营费用(runningcost)。[0026]另外，在一实施方式的废水处理方法中，当导入至上述微纳米泡反应槽的废水仅含有不满规定量的表面活性剂时，向上述微纳米泡反应槽中添加表面活性剂，另一方面，当导入至上述微纳米泡反应槽的废水含有上述规定量以上的上述表面活性剂时，不向上述微纳米泡反应槽中添加表面活性剂。[0027]按照该实施方式的废水处理方法，在上述废水例如半导体工厂的酸废水或碱废水这样的混入有表面活性剂，但不足以充分产生微纳米泡的情况时，向微纳米泡反应槽中添加不足部分的表面活性剂。这样，可以在微纳米泡反应槽中始终稳定地产生微纳米泡。[0028]另外，在一实施方式的废水处理方法中，上述表面活性剂是阴离子表面活性剂、阳离子表面活性剂和非离子表面活性剂中的至少1种。[0029]按照该实施方式的废水处理方法，可以根据作为处理对象的废水以及废水中的内含物，从上述各表面活性剂中选择所需的表面活性剂。例如，在阴离子表面活性剂、阳离子表面活性剂和非离子表面活性剂中，选择可以在后续的废水处理工序中分解的表面活性剂。[0030]另外，在一实施方式的废水处理方法中，上述表面活性剂是经上述微纳米泡反应槽的后续工序的废水处理部的废水处理，可以被分解的表面活性剂。[0031]按照该实施方式，上述表面活性剂由于从微纳米泡反应槽排出之后可以在后续工序的废水处理部短时间分解，因此可以减少残存于处理水的表面活性剂。[0032]另外，在一实施方式的废水处理方法中，设有将含有微纳米泡的废水从上述微纳米泡反应槽导入至进行后续废水处理的后续工序废水处理部的工序，上述后续工序废水处理部进行生物处理、化学处理、物理处理的至少1种处理。[0033]按照该实施方式的废水处理方法，可以将含有微纳米泡的废水稳定地供给至进行生物处理、化学处理、物理处理的至少1种的处理的后续工序废水处理部。因此可以提高对各种废水处理的效率。[0034]另外，在一实施方式的废水处理方法中，具有使上述微纳米泡反应槽中的处理水中的溶解氧浓度上升并维持的工序。[0035]按照该实施方式的废水处理方法，在后续工序废水处理部进行生物处理时可以减少曝气槽的曝气量，可实现节能。[0036]另外，在一实施方式的废水处理方法中，上述后续工序废水处理部可以进行生物处理、化学处理、物理处理中的至少2种以上的处理。[0037]微纳米泡不像通常的泡上升到水面后破裂，而是具有持续维持在水中的特征，在一实验例中，微米泡在水中维持的时间为3分钟到4分钟左右，纳米泡在水中维持1个月之久。因此微纳米泡具有使水中的溶解氧提高、并维持的功能。例如，在生物处理装置的曝气5nCN101132990B说明书4/8页槽中，通过使水中的溶解氧提高并进行维持，可以实现曝气槽中的节能。另外，由于纳米泡是直径在1微米以下的泡，因此进行生物的细胞水平的直接作用，可以显著提高微生物的活性。[0038]按照本发明的废水处理方法，经过向微纳米泡反应槽中添加表面活性剂，在微纳米泡反应槽中微纳米泡发生机以含有表面活性剂的被处理水作为原水，可以稳定高效地产生微纳米泡。因此，被导入至微纳米泡反应槽的废水可经微纳米泡进行高效的前处理，实现废水处理效率的提高，除此之外，还可以减轻该前处理的后续工序的废水处理部的处理负荷，实现后续工序的废水处理部的规模的缩小化。附图说明[0039]图1是本发明的废水处理装置的第1实施方式的示意图。[0040]图2是本发明的废水处理装置的第2实施方式的示意图。[0041]图3是本发明的废水处理装置的第3实施方式的示意图。[0042]图4是本发明的废水处理装置的第4实施方式的示意图。[0043]图5是本发明的废水处理装置的第5实施方式的示意图。[0044]符号说明[0045]1调整槽[0046]2调整槽泵[0047]3微纳米泡反应槽[0048]4微纳米泡发生机[0049]5循环泵[0050]6空气吸入管[0051]7空气流量调整阀[0052]8表面活性剂泵[0053]9表面活性剂罐[0054]10液面计[0055]11上部电极棒[0056]12下部电极棒[0057]13送水侧配管[0058]14后续工序废水处理装置[0059]15生物处理装置[0060]16化学处理装置[0061]17物理处理装置[0062]18接地电极棒具体实施方式[0063]以下，通过图示实施方式更详细地说明本发明。[0064](第1实施方式)[0065]图1中示出了本发明的废水处理装置的第1实施方式。该第1实施方式具有调整6nCN101132990B说明书5/8页槽1、具有微纳米泡发生机4的微纳米泡反应槽3、构成表面活性剂添加部的表面活性剂泵8、表面活性剂罐9、作为后续工序废水处理部的后续工序废水处理装置14。[0066]在该实施方式中，作为一个示例将各种半导体工厂废水导入至调整槽1中，在调整槽1中，调整该各种半导体工厂废水的水量和水质。作为向该调整槽1中导入的半导体工厂废水，有可能是显影废液这类的含有有机物的废液，也有可能是作为酸废水的含氟废水、作为碱废水的氨废水等，只要是半导体工厂的废水就没有特别的限定。作为该半导体工厂的废水的特征是，它虽然是混有各种化学试剂的废水，但由于是在净化车间用于晶片的清洗，以化学试剂为主，因此一般浮游物质少。如果在导入至上述微纳米泡发生机4的供给水中，存在1mm以上的浮游物质，则会引起微纳米泡发生口的变小，从而造成阻塞等故障，而由于半导体工厂废水中浮游物质少，因浮游物质造成阻塞等故障的可能性小。即，由于半导体工厂的废水几乎不含浮游物质，因此适宜作为导入至微纳米泡发生机的供给水。[0067]在调整槽1中设置有调整槽泵2，该调整槽泵2将作为处理对象的半导体工厂废水从调整槽1导入至微纳米泡反应槽3。该微纳米泡反应槽3在其内部设有微纳米泡发生机4。将空气吸入管6、送水侧配管13连接至该微纳米泡发生机4。该送水侧配管13上还连接循环泵5。上述微纳米泡发生机4由空气吸入管6供给空气，由送水侧配管13利用循环泵5将来自微纳米泡反应槽3的下部的处理水作为供给水供给。上述微纳米泡发生机4使用供给的空气和供给水，产生微纳米泡。[0068]在上述空气吸入管6中安装空气流量调整阀7。该空气流量调整阀7由作为输入来自液面计10的液面检测信号的控制部的调节计R1，调整开放程度。旋小该空气流量调整阀7减少开放程度，则减少空气流量容易产生微纳米泡。相反，如果旋大该空气流量调整阀7的开放程度，则不产生微纳米泡，而产生一般大小的泡。该大泡在微纳米泡反应槽3中积留在水面的上部形成泡，而微纳米泡很少积留在该水面上。[0069]通过与表面活性剂罐连接的表面活性剂泵8和表面活性剂配管L8，向微纳米泡反应槽3中添加表面活性剂。通过该表面活性剂的添加，在微纳米泡反应槽3中具有提高微纳米泡的产生的效果。通过调整相对于该微纳米泡反应槽3的表面活性剂的添加和空气流量调整阀7的开关程度，使导入至微纳米泡反应槽3的被处理水中适当地产生微纳米泡。另外，上述表面活性剂可例举如阴离子表面活性剂、阳离子表面活性剂和非离子表面活性剂，优选选择在后续的废水处理工序中可以分解的表面活性剂。[0070]在微纳米泡反应槽3中，如果比较被处理水中含有表面活性剂的情况和被处理水中不含有表面活性剂的情况，则含有表面活性剂的情况的微纳米泡产生效率显著优越。[0071]在该实施方式中，在微纳米泡反应槽3中的被处理水的液面，如果产生较微纳米泡更大的泡，与液面计10接触，则液面计10输出作为液面检测信号的电信号。该液面计10输出的液面检测信号被输入到作为控制部的调节计R2，通过该调节计R2的控制，启动附设在表面活性剂池9的表面活性剂泵8。通过这样，可以自动控制向微纳米泡反应槽3供给的表面活性剂的量以稳定产生微纳米泡。[0072]该液面计10具有上部电极棒11、下部电极棒12和接地电极棒18。产生上述的通常大小的泡(不是微纳米泡的通常的泡)时，泡上升到被处理水液面，首先，与下部电极棒12相接通电状态。于是，该液面计10输出第1液面检测信号，调节计R1对空气流量调整阀7进行第1次旋小控制，使微纳米泡发生机4的吸入空气量减少。同时，根据来自上述液面7nCN101132990B说明书6/8页计10的上述第1液面检测信号，调节计R2对表面活性剂泵8进行第1次控制，使表面活性剂的添加量增加。[0073]但是，虽然进行了该第1次控制，但处理水液面中还产生通常大小的泡，最终与上部电极棒11相接成为通电状态，液面计10输出第2液面检测信号。根据该第2液面监测信号，调节计R1对空气流量调整阀7进行第2次旋小控制，使微纳米泡发生机4的吸入空气量减少。同时，根据来自上述液面计10的上述第2液面检测信号，调节计R2对表面活性剂泵8进行第2次的控制，使表面活性剂的添加量增加。[0074]相反，上述第1次控制的结果为，在被处理水液面上述通常大小的泡减少，在上部电极棒11和下部电极棒12没有连接大泡时，上述液面计10输出第3液面检测信号。通过输入了该第3液面检测信号的调节计R1将空气流量调整阀7的开放程度增大，从而使微纳米泡的相对量增加。同时，输入了上述第3液面检测信号的调节计R2控制表面活性剂泵8，使表面活性剂的添加量减少。[0075]如上所述，通过控制向微纳米泡发生机供给的空气量和向微纳米泡反应槽3供给的表面活性剂的量，可以将微纳米泡的产生维持在适当的状态。[0076]一般在半导体工厂的各种废水中，虽然存在量的差别但均含有表面活性剂，当该废水中含有的表面活性剂的量不是适当的表面活性剂量时，微纳米泡的产生量极度减少。[0077]即，在微纳米泡反应槽3中，根据废水含有的表面活性剂成分的变化，在微纳米泡反应槽3中微纳米泡的产生量也产生变化。因此，如上所述通过空气流量调整阀7的开放程度调整和利用表面活性剂泵的表面活性剂的添加量的调整，可以确保必要程度的微纳米泡的产生量。因此，通过该实施方式，即使半导体工厂废水的水质出现变化，在微纳米泡反应槽3中也可以稳定地产生微纳米泡。[0078]另外，如果微纳米泡发生机4为市售品，则对厂家没有特别的限定，作为具体的一个示例，可以采用株式会社纳诺普拉涅特(ナノプラネツト)研究所的产品。另外作为微纳米泡发生机4的另一例，也可以采用株式会社奥拉泰克(オ一ラテツク)的微纳米泡水制造装置、西华产业株式会社的微泡水制造装置、资源开发株式会社的微泡水制造装置。根据目的选择该微纳米泡发生机4即可。[0079]在微纳米泡反应槽3中，通过由微纳米泡发生机4产生的微纳米泡对被处理水进行微纳米泡处理。之后，将微纳米泡反应槽3中的由微纳米泡发生机4产生的微纳米泡处理的被处理水导入至作为后续废水处理部的后续工序废水处理装置14.上述微纳米泡反应槽3中的微纳米泡处理减轻了对该后续工序废水处理装置14的负荷。[0080]在此对3种泡进行说明。[0081](i)通常的泡(气泡)在水中上升，最终在表面“砰”的一声裂开消失。[0082](ii)微米泡是直径在50微米(μm)以下的微细气泡，在水中缩小，直至最后消失(完全溶解)。[0083](iii)纳米泡是比微米泡更小的泡，直径在1微米以下(例如直径为100～200nm)，是可以始终在水中存在的泡。[0084]因此，微纳米泡是指上述微米泡和纳米泡的混合泡。[0085]该实施方式中，如上所示，通过构成表面活性剂添加部的表面活性剂泵8，表面活性剂罐9向微纳米泡反应槽3中添加表面活性剂，可以在微纳米泡反应槽3中稳定高效地8nCN101132990B说明书7/8页产生微纳米泡。因此，通过微纳米泡可以对被导入至微纳米泡反应槽3的废水进行高效的前处理。这样，可以减小后续工序废水处理装置14的负荷，实现规模的缩小化。[0086](第2实施方式)[0087]接着，在图2中显示该发明的废水处理装置的第2实施方式。该第2实施方式仅在上述第1实施方式的微纳米泡反应槽3的后段设置生物处理装置15替代后续工序废水处理装置14这点与上述的第1实施方式不同。因此，该第2实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标以相同的符号省略详细说明，仅说明与第1实施方式不同的部分。[0088]微纳米泡除有利于有机物的氧化之外，特别是具有纳米泡产生的持续维持水中的溶解氧的作用。这样，通过该实施方式，可以减少对设置于微纳米泡反应槽3的后段的生物处理装置15的有机物处理的负荷。另外，通过该实施方式，可以节约生物处理装置15具有的作为生物处理槽的曝气槽等的曝气空气量。特别是由于纳米泡在处理水中存在1个月以上，因此纳米泡溶解，维持曝气槽内的溶解氧，可以节约曝气空气量。更具体地讲，该实施方式可以利用于作为半导体工厂废水的显影废液的生物处理装置。[0089]另外，作为显影废液的生物处理装置，有通常的曝气槽和沉淀槽的组合、没有沉淀槽的利用液中膜的曝气槽，本实施方式可以采用任一种。[0090](第3实施方式)[0091]接着，在图3中显示了本发明的废水处理装置的第3实施方式。该第3实施方式仅在上述第1实施方式的微纳米泡反应槽3的后段设置化学处理装置16代替后续工序废水处理装置14这点与第1实施方式不同。因此，该第3实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标以相同的符号省略详细说明，仅说明与第1实施方式不同的部分。[0092]作为微纳米泡的作用已确认为化学反应中的催化剂的作用。这样通过该第3实施方式，利用微纳米泡的催化剂作用，可以使在微纳米泡反应槽3的后段设置的化学处理装置16处的化学反应较通常的化学反应更顺利地进行。[0093]微米泡在被处理水中持续存在数分钟，纳米泡在处理水中存在1个月以上，因此可以对化学处理装置16中的化学反应实现有效的催化剂作用。作为该化学处理装置16，更具体地讲，相当于作为半导体工厂废水的氢氟酸废水的化学处理装置等。通过该第3实施方式，当化学处理装置16例如，向氢氟酸废水中添加氢氧化钙(熟石灰)，形成氟化钙，处理氢氟酸废水中的氟的化学处理装置时，对该化学处理装置的化学反应有效。[0094](第4实施方式)[0095]接着，在图4中显示了本发明的废水处理装置的第4实施方式。该第4实施方式仅在上述第1实施方式的微纳米泡反应槽3的后段设置物理处理装置17代替后续工序废水处理装置14这点与第1实施方式不同。因此，该第4实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标以相同的符号省略详细说明，仅说明与第1实施方式不同的部分。[0096]作为微纳米泡的作用为吸附液体中的污浊成分。因此，通过该第4实施方式，利用微纳米泡的吸附作用，可对设置于微纳米泡反应槽3的后段的物理处理装置17所具有的例如急速过滤等，减轻作为污浊的有机物的负荷，可减少急速过滤塔的反洗的每单位期间的次数。另外，通过该实施方式，由于可用微纳米泡对处理水中的污浊成分进行吸附处理，因此可以减少急速过滤器中的过滤材料的更换频率。[0097](第5实施方式)9nCN101132990B说明书8/8页[0098]接着，在图5中显示了本发明的废水处理装置的第5实施方式。该第5实施方式仅在上述第1实施方式的微纳米泡反应槽3的后段设置物理处理装置17、化学处理装置16和生物处理装置15代替后续工序废水处理装置14这点与第1实施方式不同。因此，该第5实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标以相同的符号省略详细说明，仅说明与第1实施方式不同的部分。[0099]微纳米泡具有对液体中成分的吸附作用、对化学反应的催化剂作用、对有机物的氧化作用。因此，该第5实施方式中，可以减轻对设置于微纳米泡反应槽3的后段的物理处理装置17、化学处理装置16和生物处理装置15的处理负荷，可以实现整体的物理处理装置17、化学处理装置16和生物处理装置15的规模的缩小化。[0100](实验例)[0101]制造与图1所示的第1实施方式相同结构的实验装置。该实验装置中，调整槽1的容量为1000升，微纳米泡反应槽3的容量为1000升，表面活性剂罐9的容量为200升。[0102]对该实验装置进行约2天的试运转之后，向调整槽1中连续导入从半导体工厂排出的溶解氧浓度为1.2ppm的显影废液。之后，等待3天水质稳定之后，测定微纳米泡反应槽3的出口的被处理水的溶解氧浓度，为6ppm。1010nCN101132990B说明书附图1/5页1111nCN101132990B说明书附图2/5页1212nCN101132990B说明书附图3/5页1313nCN101132990B说明书附图4/5页1414nCN101132990B说明书附图5/5页1515